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新闻动态

  • 光电所在痕量水汽检测研究中取得进展

      高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数,气体中残余水汽含量即使是ppbv (体积的十亿...

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    242017-08
  • 超透镜实现色散定制

        超构表面为衍射光学元件的设计提供了一种新思路。2016年,哈佛大学的Capasso团队成功研究出了基于超...

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    152017-08
  • 光电所承担的国家02专项项目“极紫外光刻关键技术研究”课题顺利通过验收

      近日,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项(02专项)实施管理办公室组织专家...

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    122017-07
  • 光电所发展出一种基于白光显微干涉术时域调制度的微纳结构三维形貌重建方法

      微纳器件在半导体、生物科学等领域中的迅速发展促进了人们对微纳结构的不断探索和改进。测量作为衡...

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    272017-06
  • 光电所在运动平台光束稳定控制方法研究上取得进展

    快反镜作为光学精密跟踪控制系统的核心部件已经广泛应用于长距离激光通信、自适应光学、太空望远镜系统...

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    152017-06
  • 光电所在多尺度、变分推理参数自适应图像复原技术研究方面取得突破

      当前,数字图像处理技术被广泛应用到科学研究、工农业生产、政府部门、医疗卫生等许多领域,而图像...

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    092017-06

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