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超精密光学技术与装备总体部于2016年成立，隶属精密光学领域，是光电所光学工程学科的重要组成部分。超精密光学技术与装备总体部以国家重大科技需求为目标和导向，致力于超精密光电仪器的光学系统设计和结构设计，亚纳米级超精密光学制造与检测，深紫外高性能薄膜镀制，高精度系统集成等技术研究，以及超精密光学仪器与装备研发。
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