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微电子装备总体研究室成立于1978年,隶属于信息科学领域,是光电所微纳技术学科的重要组成部分。微电子装备总体研究室以国家重大需求为目标,以光学工程、精密机械、自动化控制为学术基础,以微电子装备工程技术研究为特色,针对微电子专用装备开展应用基础研究,为我国微电子装备的发展提供创新方法、技术和设备。
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