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专利号 专利名称 专利类别 状态 完成人
一种适用于投影光刻系统的检焦系统及检焦方法 发明专利 2010.07.14 陈旺富;胡松;严伟;陈铭勇;周绍林;徐锋;李金龙;谢飞
可用于低反射率光学球面面形检测的偏振点衍射干涉系统 发明专利 2010.07.09 杨甬英;王道档;刘东;卓永模;许嘉俊;吴永前
在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法 发明专利 2010.07.09 沈亦兵;王东升;汪凯巍;许嘉俊;侯溪
LED标尺放大镜 实用新型 2010.06.30 刘强
一种光刻机掩模刀口移动装置 发明专利 2010.06.09 邢薇;胡松;赵立新;罗正全;马平;徐文祥
一种基于自适应光学的反射式共焦扫描视网膜成像系统 发明专利 2010.06.02 张雨东;卢婧;李昊;史国华;饶学军
一种大口径离轴非球面测量和标定系统 发明专利 2010.05.19 雷柏平;伍凡;范斌;万勇建;侯溪
一种接近式纳米光刻中的间隙测量方法 发明专利 2010.05.07 周绍林;胡松;唐小萍;赵立新;杨勇;徐锋;陈旺富;陈明勇
基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统 发明专利 2010.05.07 侯溪;伍凡;万勇建;吴永前;吴高峰;杨鹏
一种海德汉长度计安装角度的检测装置及检测方法 发明专利 2010.04.30 张宜春;范斌;周家斌
基于脉动阵列的高速图像压缩VLSI编码方法及编码器 发明专利 2010.04.09 徐智勇;徐勇;张启衡;张耀
一种高灵敏度混合型表面等离子体检测传感器的制作方法 发明专利 2010.04.09 杜春雷;金凤泽;尹韶云;史立芳
一种动态范围可调的干涉仪 发明专利 2010.04.09 侯溪;伍凡;万勇建;吴永前;吴高峰
大口径光学主镜内孔精加工装置 发明专利 2010.04.09 郑鑫;丁小新;余伦;高七一
基于FPGA的高速存储与传输装置 发明专利 2010.03.26 吴威;苏海冰;吴钦章;郭帅;张娟
一种主动式温度压力补偿的实时传输型航空摄影相机镜头 发明专利 2010.03.10 梁伟;蓝公仆;马文礼;高晓东
自适应光学系统中波前传感器与校正器对准装置 发明专利 2010.03.10 顾乃庭;杨泽平;黄林海;饶长辉
自动离焦补偿人眼像差哈特曼测量仪 发明专利 2010.03.10 张雨东;鲍华;饶长辉;戴云;凌宁;余翔
用于普通大立车的微动无级调速磨削装置 发明专利 2010.03.10 郑鑫;丁小新
一种增强分子拉曼散射的金属微纳结构 发明专利 2010.03.10 邓启凌;杜春雷;罗先刚;杨兰英;高宏涛;尹韶云
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