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专利库

专利名称:

在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法

英文名称:

专利类别:

发明专利

申请号:

CN101986097A

申请日期:

2010.07.09

授权日期:

专利号:

第一发明人:

沈亦兵;王东升;汪凯巍;许嘉俊;侯溪

其它发明人:

沈亦兵;王东升;汪凯巍;许嘉俊;侯溪

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

缴费情况:

授权

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注:

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