一、项目信息
（1）采购人：中国科学院光电技术研究所
（2）项目名称：重点研发计划类项目
（3）拟采购的货物或服务说明：
包含BEAMER和TRACER两个完整软件包。包含1年的软件升级技术支持服务。
（4）拟采购的货物或服务预算金额：
预算金额98万元。
（5）采用单一来源采购方式的原因及说明：
电子束直写数据处理软件是高斯束电子束直写图形处理的标配软件。主要用于版图数据的布局操作、过程校正、特殊的图形切割以及写场控制，并实现单纯直写系统硬件上做不到的特殊器件以及应用。
目前，本单位已经购置过一套电子束直写数据处理软件，但该软件仅支持单用户操作，目前使用已饱和。而目前承担的项目所需的版图数据处理量大幅增加。由于版图数据量大，软件处理时间长、耗时，会严重影响效率和进度。已有软件已无法支撑相关工作的开展。因此，需要新购一套电子束直写数据处理软件，提高掩模图形数据处理的能力，保障项目的进度。
德国GenISys公司的BEAMER和TRACER是目前唯一的电子束直写软件整体解决方案，在高端50kv-200kv高斯束电子束直写系统中保持垄断的市场份额。因此，本项目只能通过单一来源方式进行采购。
二、拟定供应商信息
名称：GenISys GmbH
地址：Eschenstraße 66, D-82024 Taufkirchen
三、 公示期限
2024年12月2日 至 2023年12月8日
四、 联系方式
联系人：中国科学院光电技术研究所
联系方式：刘老师 028-85752244
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