专利
美国专利：一种适用于双工件台投影光刻机的检焦装置,发明 2018专利号：8,760,626
纳米芯片扫描仪,外观,2016,专利号：201630417972.0
一种高精度调焦调平测量系统,发明,2015,专利号：201510762399.1
一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛,发明,2014, 专利号：201410478006.X
一种基于光束波前调制的同轴检焦装置,发明,2014,专利号：201410155018.9
一种长焦深光子筛,发明,2014,第1作者,专利号：201410479804.4
一种将矢量图形转化成位图并进行自适应分割的方法,发明,2014,专利号：201410458372.9
一种基于双光栅莫尔条纹的检焦装置,发明,2013,专利号：201310162595.6
一种基于自适应技术的二维平面采样方法,发明,2013,专利号：201310231667
一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法,发明,2013,专利号：201310023268.2
