高精度回转轴系是诸多精密机械仪器设备，特别是圆度仪、经纬仪、测角仪等测量设备的核心功能单元。随着机械制造进入精密、超精密加工时代，加工设备、检测设备精度也逐步进入亚微米乃至纳米级，对其轴系的旋转精度要求亦是日益提高。 

　　密珠轴系回转平台是超精密机械中的一种典型结构，具有不需要气源、精度高、性能稳定等一系列优点，为微光刻技术、精密计量等领域提供了一个能够实现超精密定位、检测和精确运动的载物平台。但密珠轴系要达到纳米级的精度，需要解决轴系的超精密加工、精密装调、润滑等难题。 

　　随着社会与科技的发展以及研究所对纳米级轴系的需求，光电所精密机械制造中心成立了精密轴系加工团队，聘请退休的高级技师人员进行实践指导，在老一辈科研人员的带领下，工艺技术人员从密珠轴系的工作原理出发，解决了影响轴系精度的诸多因素，如：空回、爬行、磨损等，并经过反复的实验和分析，解决了超精密内孔和外圆的加工、轴系装调等难题，成功研制出了纳米级密珠轴系，轴系径向跳动和轴向跳动精度稳定在0.09μm 以内，零件内孔圆度稳定在0.08μm 。  

　　纳米级密珠轴系可应用于高精度检测设备，进一步提高检测精度及测量不确定性；应用于航空航天，替代高精度进口轴承提供精密传动；应用于微光刻领域，实现超精密旋转、定位与传动；应用于其它高精度实验平台，提供超精密旋转、定位与精确运动，具有良好的现实意义和应用价值。 

密珠轴系旋转平台