近日，中科院光电技术研究所微电子装备总体研究室邀请中科院微电子器件与集成技术重点实验室研究员谢长青来光电所展开学术交流活动，并做题为《X射线衍射光学元件研究进展》的学术报告。光电所各研究室相关专业老师和研究生参加了此次学术交流会。 

　　报告中，谢长青研究员从X射线的光学特性出发，围绕衍射光学元件在四大光学工程（同步辐射、激光聚变、极紫外光刻和X 射线天文望远镜）、医学成像、X 射线计量学等领域的应用需求，重点介绍了衍射原件的发展趋势与设计原理。X 射线衍射光学元件的基本原理是利用纳米结构对入射X 射线的衍射效应来实现设定的光谱衍射与聚焦成像等光学功能，具有精度高、重量轻、紧凑、设计自由度大、特性独特且易于校准等优点。 

　　针对X 射线衍射光学元件线宽特征尺寸不断缩小（提高分辨率），高宽比不断增大（提高衍射效率）、新型元件尤其是涡旋元件调控和测试技术不断提高（提高信噪比）的发展趋势，本次报告首先介绍了依托于中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室的X 射线衍射光学元件平台的建设与运行情况。基于该平台，主要介绍了三个方面的研究进展：分析了影响入射X 射线与厚度为数万个工作波长量级的超大高宽比纳米结构相互作用的物理机制；讨论了元件分辨率、衍射效率和信噪比的限制因素，为衍射元件的制造提供依据；介绍了自支撑薄膜上微纳金属光学结构制作及元件集成。以此为基础，报告最后展示了中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室近年来研制的几种X 射线衍射光学元件及测试结果。 

　　中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室研究团队在衍射光学元件设计、制作及元件集成分析等领域有着深厚的研究基础。谢长青研究员长期从事微纳米金属结构制作技术及衍射光学元件应用研究工作，国际上首次实验证实自由空间光学涡旋嬗变规则，在Opt.Lett.、Appl.Phys.Lett.、Rev.Sci.Instrum.等重要学术刊物发表论文百余篇。本次通过与中科院微电子器件与集成技术重点实验室合作，结合所内发展规划及行业现状，对X射线衍射光学元件设计原理与制作技术进行研究探索，有助于提升光电所在衍射光学元件制作领域的竞争力。