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专利库

专利名称:

一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜

英文名称:

专利类别:

发明专利

申请号:

CN103837967A

申请日期:

2014.03.04

授权日期:

专利号:

第一发明人:

刘俊伯;高洪涛;陈铭勇;朱咸昌;胡松;马驰飞;程依光

其它发明人:

刘俊伯;高洪涛;陈铭勇;朱咸昌;胡松;马驰飞;程依光

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

缴费情况:

实质审查的生效

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注:

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