 |
专利库 |
|
|
|
|
| 专利名称: |
一种超长工作距表面等离子体超衍射光刻装置及方法
|
| 英文名称: |
|
| 专利类别: |
发明专利
|
| 申请号: |
CN102621821A
|
| 申请日期: |
2012.04.13
|
| 授权日期: |
|
| 专利号: |
|
| 第一发明人: |
罗先刚;冯沁;王长涛;赵泽宇;王彦钦;杨欢;黄成;杨磊磊;陶兴;姚纳
|
| 其它发明人: |
罗先刚;冯沁;王长涛;赵泽宇;王彦钦;杨欢;黄成;杨磊磊;陶兴;姚纳
|
| 国外申请日期: |
|
| 国外申请方式: |
|
| 专利授权日期: |
|
| 缴费情况: |
发明专利申请公布后的视为撤回
|
| 实施情况: |
|
| 专利证书号: |
|
| 专利摘要: |
|
| 其它备注: |
|
|
|
|
