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专利库
专利名称: 基于光子筛的激光直写光刻系统
英文名称:
专利类别: 发明专利
申请号: CN101561637
申请日期: 2009.05.15
授权日期:
专利号:
第一发明人: 蒋文波;胡松;赵立新;邢薇;杨勇;严伟;周绍林;陈旺富;徐锋;张博
其它发明人: 蒋文波;胡松;赵立新;邢薇;杨勇;严伟;周绍林;陈旺富;徐锋;张博
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况: 发明专利申请公布后的驳回
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
   

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