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专利库

专利名称:

基于光子筛的激光直写光刻系统

英文名称:

专利类别:

发明专利

申请号:

CN101561637

申请日期:

2009.05.15

授权日期:

专利号:

第一发明人:

蒋文波;胡松;赵立新;邢薇;杨勇;严伟;周绍林;陈旺富;徐锋;张博

其它发明人:

蒋文波;胡松;赵立新;邢薇;杨勇;严伟;周绍林;陈旺富;徐锋;张博

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

缴费情况:

发明专利申请公布后的驳回

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注:

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