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院士专家 |
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姓 名: |
严伟 |
性 别: |
男 |
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职 务: |
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职 称: |
研究员 |
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通讯地址: |
四川成都双流西航港光电大道1号 |
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邮政编码: |
610209 |
电子邮件: |
yanwei@ioe.ac.cn |
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| 简历： |
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严伟：男，1977年2月生，研究员，博士生导师，四川省杰青，国家科技专家库专家，西部之光联合学者，首届青促会会员，中国科学院光电所青年创新人才。2000年至今一直在中国科学院光电技术研究所“微电子装备总体研究室”工作，主要研究集中于微电子装备研制，以及相关微纳光学、光学测量的关键技术研究工作。 近5年承担的科研任务包括：作为总师完成国家科技重大专项课题“下一代193nm光子筛聚焦无掩模光刻关键技术”；主持国家自然科学基金面上项目、中国科学院国防科技创新基金项目、四川省杰青基金、西部之光项目、院装备项目等科研任务。获中国半导体行业协会半导体创新产品和技术奖1项、四川省科技进步二等奖和三等奖各1项、中国烟草总公司科学技术发明奖三等奖1项。发表科技论文40余篇（第1作者10篇），发明专利16项，软件版权2项（第一申请人8项，授权发明专利11项） |
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