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论文编号: 2014-2072
作者: Wang, Changtao(1); Gao, Ping(1); Zhao, Zeyu(1); Yao, Na(1); Wang, Qinyan(1); Luo, Xiangang(1)
刊物名称: Optics InfoBase Conference Papers: CLEO: Science and Innovations, CLEO_SI 2014
所属学科:
论文题目英文: Reflective plasmonic imaging lithography with deep sub-wavelength resolution and high aspect ratio
年: 2014
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