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论文编号: 2013-2007
作者: Zhengpeng, Yao(1,2); Tingwen, Xing(1)
刊物名称: Proceedings of SPIE: Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VIII
所属学科:
论文题目英文: The impact of polarization on metrology performance of the lateral shearing interferometer
年: 2013
卷: 8788
期:
页: 87882F
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