中国科学院光电技术研究所

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获奖库

单位代码:

181551

成果编号:

成果名称:

登记人:

获奖题目:

URE-2000紫外深度光刻机

成果介绍:

主要完成人:

胡松、杨春利、赵立新、唐小萍、马平

获奖类别:

获奖等级:

三等奖

授奖部门:

四川省

获奖时间:

2008年

开始日期:

结束日期:

完成单位:

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