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专利名称: 专利类别: 申请号:
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专利号 专利名称 专利类别 状态 完成人
一种基于子孔径分割的光路耦合对准装置及对准方法 发明专利 2012.05.30 李新阳;叶红卫;杨榕
一种基于分离模式控制和优化算法的多变形镜控制方法 发明专利 2012.05.29 雷翔;王帅;杨平;许冰
大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法 发明专利 2012.05.27 李斌成;曲哲超
一种光通信的精跟踪控制系统 发明专利 2012.05.25 唐涛;赵华;吴琼燕;黄永梅;包启亮
一种相位差法波前传感器 发明专利 2012.05.23 王帅;杨平;许冰
一种自动诊断并校正激光光束发散角及光束质量的装置 发明专利 2012.05.18 黄林海;王海英;周虹
一种双快速反射镜精跟踪装置及方法 发明专利 2012.05.18 黄永梅;丁科;亓波;任戈;邹华
一种投影物镜波像差检测装置及方法 发明专利 2012.05.18 刘志祥;刘学峰;吕保斌;陈红丽;甘大春;何毅
基于光束稳定闭环控制的激光束共孔径功率合成系统 发明专利 2012.05.16 鲜浩;董道爱;李新阳;缪洪波;任绍恒;沈锋;甘永东
一种无掩模数字投影光刻的图形拼接方法 发明专利 2012.05.11 朱江平;胡松;陈铭勇;唐燕;何渝
一种适用于无掩模光刻机的对准方法 发明专利 2012.05.10 李艳丽;胡松;陈铭勇;冯金花
一种基于图像处理的烟丝宽度测量方法 发明专利 2012.05.09 邸成良;赵维一;胡松;曾建;温若愚;周学政;李东亮;严伟
一种光刻机自动对准的图像处理方法 发明专利 2012.05.07 冯金花;李艳丽;杨勇;罗正全;邢薇
一种三轴望远镜的跟踪控制方法 发明专利 2012.05.04 唐涛;钟代军;包启亮;刘儒贞;刘兴发;吴琼燕
一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机 发明专利 2012.05.03 李斌成;郭春
一种移动平台 发明专利 2012.05.03 王安定;付滔滔;邢廷文
一种高分辨率投影光学系统 发明专利 2012.05.02 白瑜;邢廷文;朱红伟;廖志远;刘志祥
一种多波前校正器件的解耦控制方法 发明专利 2012.04.25 刘文劲;宁禹;晏虎;董理治;雷翔;王帅;杨平;许冰
一种大动态范围测量非球面光学元件表面轮廓装置 发明专利 2012.04.19 黄林海;王海英;周虹
一种基于差分光学的相位差法波前测量成像装置 发明专利 2012.04.19 鲍华;饶长辉;李梅
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