技术特征：

●大面积一次压印；

●自动脱模；

●由PLC控制工艺过程，可实现自主定制；

●可与接近接触式光刻机兼容；

●友好的人机交互，触模屏操作。

 

主要技术指标：

● 分辩力： ≤ 15nm；

● 大功率紫外固化UV LED；

● 样片尺寸：4 英寸(可定制)；

● 压印面积：2英寸(可定制)；

● 模板尺寸：5 x 0.090英寸(可定制)；

● 压印压力：0 - 25 PSI (可升级到100 PSI)；

● 产量：< 5 分钟/片；

● 使用方便：Step-by-step Menu；

● 应用领域广泛。