主要技术特点：
该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。
主要技术指标：
★ 曝光面积：150mm×150mm；
★ 分辨力： 0.8～1µm（胶厚2µm正胶）；
★ 胶厚500µm（SU8胶，据用户工艺条件）；
★ 对准精度：±0.6µm；
★ 照明均匀性：±3.5%(ф100mm)；±5.5%(ф150mm)
★ 掩模尺寸：3inch、4inch、5inch、7inch；
★ 样片尺寸：直径ф15mm-ф150mm、厚度0.1mm-6mm；
★ 汞灯功率：1000W（直流）；
★ 曝光方式：定时（倒计时方式0.1s～999.9s）。
联系人: 胡主任、唐主任
电话:85101784 85100564 |
