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超精密定位气浮工件台
作者：　发布时间：2016-03-10　阅读次数：

　
　
主要技术指标 
★ 运动摆动：<0.5” 
★ 工件台行程：150×150mm； 
★ 重复定位精度:60nm 
★ 微动灵敏度:5nm 
★ 水平摆动：<0.5" 
★ 垂直摆动：<0.5" 
★ 垂直跳动：0.4µm 
联系人:胡主任、唐主任 
电话:85101784、85100564
 
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