主要技术指标: 
★ X、Y导轨运动直线性： 
水平≤2.5″、垂直≤3″ 
★ 工件台面垂直跳动≤±2.5μm； 
★ X、Y向机械导向正交性≤2″； 
★ 工件台行程：150×150mm； 
★ 工件台最高移动速度：20mm/Sec； 
★ 测量分辨率：0.6nm（λ/1024）； 
★ 工作室真空度：1.33×10-4Pa。 
联系人:胡主任

电话:85101784、85100564