类别1

类别2

仪器名称

仪器型号

仪器用途

仪器主要技术指标

光学检测

材料检测

光学材料应力检测仪

Exicor300

用于玻璃材料内应力检测

仪器口径：Ф300mm；测试精度高：0.1nm/cm

光学材料均匀性测量仪

Verifire XPZ

用于测量光学材料均匀性

仪器口径：Ф300mm；测量光学均匀性精度：1ppm

零件检测

4英寸激光干涉仪

GPI 4"

用于光学零件的面形检测

仪器口径：Ф100mm；面形测量精度：λ/10(PV)

12英寸激光干涉仪

Verifire XPZ

用于光学零件的面形检测

仪器口径：Ф300mm；面形测量精度：λ/10(PV)

24英寸激光干涉仪

GPI 24"

用于光学零件的面形检测

仪器口径：Ф600mm；面形测量精度：λ/10(PV)

光学表面粗糙度测量仪

NV 200

用于光学零件的表面粗糙度检测

测量范围：0.1nm～100μm；测量精度：±2％

分光光度计

Lamda1050

用于光学零件的光谱特性检测

透过率、反射率测量精度优于0.5%

系统检测

光学传递函数测量仪

2000MARXⅢ

用于光学系统的光学传递函数检测

测量范围：0.36～1μm、3～5μm、8～12μm；测量精度：±3％(可见)、±4％(红外)

Φ800mm红外标定系统

IR 800

用于红外光学系统辐射标定

测量范围：口径φ800mm；焦距6400mm

3m平行光管

AC 3m

用于光学系统的像质检测

测量范围：全波段；分辨力：≤0.5″

2m平行光管

32W

用于光学系统的像质检测

测量范围：可见及近红外；分辨力：≤0.7″

550平行光管

5W

用于光学系统的像质检测

测量范围：可见及近红外；分辨力：≤3″

微弱光照度计

SPD-III

用于光学系统的透过率、反射率、照度均匀性、杂(散)光系数检测

测量范围：10-1lx～10-4lx；测量精度：＜4％

光功率测量系统

2936-C

用于光学系统的透过率、反射率检测

测量范围：0.05nW-2W；测量精度：±3％

可见与红外光波光轴平行度检测仪

par 5"

用于可见与红外复合光学系统中可见光波光轴与红外光波光轴平行度的检测

测量精度：5"

双频激光干涉仪

HP5528A

用于长度测量

测量范围：0～30m；测量精度：(0.1+0.2L) μm

长度检测

长度检测

精密型三坐标测量机

PMM302010

用于长度和形位误差的测量

测量范围：3m×2m×1m；测量精度：±(2.2+L/350)μm

万能测长仪

JD5

用于长度和形位误差的测量

测量范围：0～100mm；测量精度：0.6μm

工具显微镜

XGT-1

用于长度和形位误差的测量

测量范围：X:0～200mm、Y:0～200mm；测量精度：±(2.4+L/300)

多功能测量显微镜

OGP 250

用于长度和形位误差的测量

测量范围：X:0～250mm、Y:0～200mm；测量精度：±(2.4+L/300)

圆柱度仪

TR290XL

用于形位误差的测量

测量范围：φ1000mm；测量精度：±(0.02+0.0003H)μm

精密位移传感器

ILD2200-2

用于长度测量

测量范围：2mm；测量精度：±0.5μm

二维数显测高仪

MT 1000 MO

用于长度和形位误差的测量

测量范围：500mm；测量精度：±(2.5+L/400)μm

数字式光电准直仪

ELCOMAT 3000

用于角度测量

测量范围：±1000″；测量精度：±0.25″

角度检测

电子水平仪

NT11-H

用于角度测量

测量范围：±4000″；测量精度：1%

小角度检查仪

C2

用于角度测量

测量范围：40′；测量精度：±0.4″

多齿分度台

DFT-720Ⅱ

用于角度测量

测量范围：0～360°；测量精度：0.2″

多齿分度台

DFT-391A

用于角度测量

测量范围：0～360°；测量精度：0.2″

多齿分度台

DFT-360

用于角度测量

测量范围：0～360°；测量精度：0.2″

多齿分度台

DFT-552E

用于角度测量

测量范围：0～360°；测量精度：0.2″

正多面棱体

23面

用于角度测量

测量范围：0～360°；测量精度：三等

经纬仪

T4A

用于角度测量

测量精度：0.5″

光学经纬仪

TDJ2Z

用于角度测量

测量精度：0.5″

电子经纬仪

TM5100A

用于角度测量

测量精度：0.5″